高级薄膜测定系统

NKD-8000系统综合了光学、电子学和高级分析软件，是目前测定多层薄膜和基片的折射率、吸收系数和厚度最精准、最易用的系统。NKD-8000系列产品具有全自动、可同时测定透过光谱和反射光谱，入射光角度从0°到90°连续改变。对分光光谱仪而言，这是一项前所未有的新功能，使得NKD-8000适用于最具挑战性的光学测量。对多层薄膜和基片的n、k和d的测定变得准确、快捷。

 

NKD-8000v    280nm—1000nm ( 紫外增强型)

NKD-8000r     800nm—1700nm ( 红 外 型 )   

                                NKD-8000w    350nm—1700nm (宽光谱型 )           

NKD-8000e   350nm—2500nm (超宽光谱 型 )

注：宽光谱型提供两个检测器，可以覆盖350nm到1000nm和800nm到1700nm或2500nm (仅适用nkd-8000e)，但二者不能同时用。获得数据时间                    2—10分钟，这取决于光谱范围和不同选件

 

数据分析时间                    5秒—5分钟，取决于数据的复杂程度

光 谱 分辨率                    1nm或2nm （可选）

光        源                     NKD-8000v    150W 氙弧灯

其      他     高稳态100W石英钨卤灯            

样  品 尺 寸                     10×10mm到200×250mm标准系统

                                 100mm 直径样品的扫描台

 层        数                     至多5层，两个未知参数

 薄膜厚度范围                     5nm到20um，取决于角度、偏振和波长

                                 1nm 需要增加椭偏模块

 基        片                     透明、半透明或半吸收或半导体

 材        料                     电介质、高聚物、半导体和金属

 精   确   度                对于 半吸收薄膜         典型            最大

                                  薄膜厚度          ＜1%          ＜3%

                                   折射率           ＜0.1%         ＜1%

                                  消光系数          ＜1%          ＜3%

 对于 金属薄膜

      薄膜厚度         ＜1%           ＜3%

       折射率          ＜1%           ＜3%

      消光系数         ＜1%           ＜3%

 

重 现  性                        透射率          ＜0.01%           ＜0.1%

                                 反射率          ＜0.01%           ＜1%

                                折射系数         ＜0.01%           ＜0.1%

 

入射光角度                      30°、50°或70°（标准单元）或由客户指定的从

20°到70°连续可变（可变角版本）或3个位置角度

样品上的光斑尺寸                5mm(标准系统)，250um（选件）

电   源                         220V，50Hz，2A 或110V，60Hz，3A

外观尺寸                        890×540×720mm

重   量                         105Kg

选   件                          多角度，可变角度，X-Y样品扫描台，多种标准尺寸样品架。样品观测显微镜。手动或全软件控制的偏振选件（s-、p-或非偏振）。样品加热台。台式机或工业PC。     

主要特点

◆ 可测定波长范围从280nm到2300nm的透射和反射光谱

◆ 在同一区域可同时测定T和R值

◆ 可对折射率(n)，吸收系数(k) 和厚度(d)进行准确测定

◆ 样品可在X-Y扫描台上进行扫描

◆ 入射光角度可以是固定角度、多角度和从0°到90°的连续变化的角度

◆ 可用s-、p-或非偏振光作为入射光对T和R进行测定

◆ 可对透明基片进行测定且不需要对样品进行前处理

◆ 内建的材料数据库

◆ 密封的样品室

◆ 可选择散射模式

◆ 具有在线或离线分析功能

对T和R同时测定

KD-8000系统在同一个光斑处，同时对透过光谱和发射光谱进行测定，保证了两套数据具有直接的相关性。通过测定这些光谱，全自动的控制和分析软件系统可以从中得到n、k和d值。而且大部分这些都源自同一次测定。不同散射模式的选择使得对宽广范围材料的分析成为可能，而且用户可以选择缺省模式或者高级分析模式。

 

功能强大的Pro-Optix^TM控制和分析软件系统包括一个可编辑的数据库，它允许对材料进行预先定义，以提高分析速度。该软件的其他特点包括颜色的匹配和太阳光的计算以及金属薄膜的算法。样品可以是透明的、不透明的或者半吸收的而无需对它们特殊处理。

NKD-8000是唯一一款能全部提供上述功能的分光型光学薄膜分析系统，它为薄膜表征设立了一个标准。

①反射光检测 ②光束管 ③Y轴坐标 ④透射光检测器 ⑤Z轴坐标 ⑥X轴坐标 ⑦样品台 ⑧马达驱动的可变角度选择装置

NKD-8000系统提供可变的角度选择装置，它提供马达驱动的，可由PC机控制入射光的角度，入射角度从从0°到90°可自由选择。