返回首页
 
 固体射频裂解源


 
 
应用
应用:射频(300W)裂解蒸发物质并可多种气体(Ar;Ne;N2; H2 etc.)混合激发形成等离子体以实现多元素化合物薄膜生长的生长或掺杂
 
技术指标
*型号:RFK30
*蒸发裂解如磷;砷;硒 和硫等多原子态固体为以单原子为有效主流的活性束流
*蒸发区域(30cc)具有独立的温控功能( max 450C),通过温度可控制固态物质的蒸发流量
*高效水冷,低系统热载,适用于热敏化合物的生长或掺杂
*束流稳定监测及回控系统
*可实现射频自动匹配单元和等离子体监控的计算机全自动控制
【返 回】

Copyright ©2007-2023  广州竞赢化工科技有限公司 地址:广州市天河区燕岭路25号1009房 电话:(020)38844987 38843619

 

仪器咨询客服

点击这里给我发消息黄小姐

点击这里给我发消息彭先生

耗材咨询客服

点击这里给我发消息陈小姐

点击这里给我发消息杨小姐

点击这里给我发消息徐小姐

点击这里给我发消息欧小姐

热线电话

020-38843619

020-38844987

在线客服