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 108AUTO 离子溅射仪

108 Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,
五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。
七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
八、可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
 
技术参数
样品室大小
直径120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
靶材
Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm厚
样品台
可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm
溅射控制
微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制
溅射头
低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量
真空: Atm - 0.001mbar
厚度监控
(
选件)
使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程
控制方法
自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
桌上系统
真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

铜网镀碳制成负染色蛋白质样品案例

 

 
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