MetroChip显微镜校准标样
适用SEM、FIB、AFM及光学显微镜。
MetroChip校准标样置于750µm 厚、20x20mm的芯片上。在作SEM校准时，可以得到高对比度图像，充电效应最低，校准范围宽，由4mm至100nm。校准内容包括：对中标记、线性微刻度、变形测量、图像偏移、分辨率、像散校正等。该集成式设计使MetroChip成为SEM、FIB和FESEM校准的理想标样，它亦可用于光镜和AFM校准。Microscope MetroChip 校准标样溯源至NIST认证。
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产品序号
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描述
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单位
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632
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MetroChip显微镜校准标样
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个
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高倍高分辨全息光栅标样
High Magnification, High Resolution Reference and Calibration Standards for AFM, SEM, Auger and FIB
适用AFM、SEM、Auger和 FIB
精准全息条纹可用于高分辨、纳米尺度上准确校准仪器，具有高稳定性和高适用性特性。中等脊线宽度便于AFM应用。扫描电镜成像时二次电子和背散射电子像反差好。条纹间隔宽度分70、145 、292nm三种。
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产品代码
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描述
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单位
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641-1AFM
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70nm 高分辨 AFM校准标样，于12mm钢圆片上
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个
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641-11AFM
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70nm 高分辨 AFM校准标样，于12mm钢圆片上，可溯源
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个
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642-1AFM
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145nm高分辨 AFM校准标样，于12mm钢圆片上
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个
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642-1
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145nm高分辨 AFM校准标样，不含样品座
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个
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643-1AFM
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292nm高分辨 AFM校准标样，于12mm钢圆片上
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个
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643-11AFM
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292nm高分辨 AFM校准标样，于12mm钢圆片上，可溯源
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个
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Critical Dimension (CD)校准标样
Critical Dimension (CD) Calibration Test Specimens
适用SEM、FIB、AFM
尤其适用于SEM / FIB放大倍数校准，亦可用于校准AFM。使用高性能SEM或FIB的显微学家和工程师将会发现这款标样非常有用。该标样于4.8 x 4.8mm硅片上含系列条纹，款式分三种：
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CD 10-5-2-1-0.5um：
中心区含五组条纹，条纹间距被清楚地标记，分别为：10.0um、5.0µm、2.0µm、1.0µm、 0.5µm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成，深约200nm。Si表面无镀层。根据认证与否，分两种：
-未认证
- PTB（Physikalische Technische Bundesanstalt - German counter part of NIST）认证，独立编号
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产品代码
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描述
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单位
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618-5
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未编号，不含样品座
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个
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618-7
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证可溯源，不含样品座
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个
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618-5A
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座A
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个
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618-5B
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座B
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个
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618-5C
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座C
|
个
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618-5D
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座D
|
个
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618-5E
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座E
|
个
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618-5F
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座F
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个
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618-5G
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座G
|
个
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618-5K
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座K
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个
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618-5L
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座L
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个
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618-5M
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座M
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个
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618-5O
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座O
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个
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618-5P
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座P
|
个
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618-7A
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座A
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个
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618-7B
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座B
|
个
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618-7C
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座C
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个
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618-7D
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座D
|
个
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618-7E
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座E
|
个
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618-7F
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座F
|
个
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618-7G
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座G
|
个
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618-7K
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座K
|
个
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618-7L
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座L
|
个
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618-7M
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座M
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个
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618-7O
|
CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座P
|
个
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618-7P
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座P
|
个
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这种精准的CD标样适用更小尺度的校准。CD 500-200-100nm标样含三组条纹，条纹间距被清楚地标记，分别为500nm、200nm、100nm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成，深约45-50nm 。Si表面无镀层。
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产品代码
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描述
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单位
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618-4
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CD 500-200-100nm标样，未认证，不含样品座
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个
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618-4A
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座A
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个
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618-4B
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座B
|
个
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618-4C
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座C
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个
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618-4D
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座D
|
个
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618-4E
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座E
|
个
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618-4F
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座F
|
个
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618-4G
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座G
|
个
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618-4K
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座K
|
个
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618-4L
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座L
|
个
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618-4M
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座M
|
个
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618-4O
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座O
|
个
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618-4P
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座P
|
个
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2D全息阵列标样
2D Holographic Array Standards
全息阵列标样精细的间距分144nm和300nm两种，可在水平方向上对仪器进行高分辨、纳米尺度的校准。
适用AFM、STM、Auger、FIB、SEM
144nm Very High Resolution 2D Calibration Standard
for AFM, STM, Auger, FIB, and SEM
中等倍数
5 kX时，单个圆体仍可清楚分辨。
SEM校准标样, 认证, 不可溯源, 含（或不含）样品座
AFM 校准标样, 认证, 不可溯源, 含样品座
SEM校准标样, 认证, 可溯源, 提供证书，含（或不含）样品座
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产品代码
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描述
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单位
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16465-2D
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144nm校准标样, 认证, 可溯源, 提供证书
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个
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300nm高分辨2D校准标样
适用AFM、STEM、Auger、FIB、SEM
300nm Pitch High Resolution 2D Calibration Standard
for AFM, STEM, SEM, Auger and FIB.
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产品代码
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描述
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单位
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16475-2D
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300nm校准标样, 认证, 不可溯源
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个
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MRS系列校准标样
是被广泛认可的节距标样，在全球实验室（包括美国、英国和德国的国家实验室）使用的MRS标样逾1000个，工业用户包括Intel、AMD、IBM等。提供认证（可溯源）或未认证的校准标样，同时亦提供清洗、重新认证等服务，以满足ISO、QS-9000 、ISO-17025等国际质量标准的要求。
放大倍数校准标样MRS-3
Magnification Calibration, MRS-3
SEM10 x －50,000x 节距标样
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应用
- EM - SEM, SE和BSE模式、 SEM/FIB、TEM (特制)
- 扫描显微镜与表面轮廓仪- STM、AFM，图案高度为100nm
- 光镜 – 透射、反射、明/暗场、相差、共焦
- 化学成像- EDS、WDS、XRF、XPS、Auger等，图案为100nm CrO2 和 Cr在石英上形成。
- 粒径计算- 含用于校准的系列圆、方形和矩形图案
图案设计
MRS-3由高精密度直写电子束制造设备所制，石英上的图案为抗反射的Cr。二次电子像和背散射电子像反差好。图案表面镀有特殊导电材料，使该标样适用于任何加速电压下的SEM成像。
几何设计
MRS-3具有数组嵌套的方形图案，节距分别为2µm、50µm、500µm。
最大方形的尺寸为3mm，线间距为250µm，可用于10 - 100x。50µm节距的图案用于100 - 1000x的放大倍数，2µm节距的图案则用于高达50,000x的放大倍数。
尺寸大小
总体尺寸大约9mm x 9mm x 2.3mm（厚）
MRS-3可连同直径25 mm、厚3mm的铝载台一起被提供。
这是最常使用的载体，适用于SEM和透射光应用场合。采用特制的MRS-3，可应用于TEM的校准。
精准度
英国NPL（National Physical Laboratories，UK ，NIST的竞争对手）测试表明500µm节距图案的精准度为±0.25µm，而50µm和2µm节距图案的精准度为±0.1µm。这些数据较保守，NIST的测试数据显示了较NPL更好的精准度。
证书
根据ISO指导方针进行认证。每一个MRS-3标样都刻有独立的序列号。证书包括：序列号、认证日期，操作者、使用仪器、实际图案测量值及准确度。同时标有再次认证的日期。
X-Y方向经NIST 和NPL标样认证，Z平面则只能溯源至NIST标准。
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产品代码
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描述
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单位
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614-1
|
MRS-3 校准标样, X, 不可溯源, 不含样品保护座
|
个
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|
614-2
|
MRS-3 校准标样, X-Y, 可溯源, 不含样品保护座
|
个
|
|
614-3
|
MRS-3 校准标样, X-Y-Z, 可溯源, 不含样品保护座
|
个
|
|
614-5
|
SEM样品保护座，25.4 x 3.18mm，含透射测量的明孔
|
个
|
|
614-7
|
MRS-3/4 接口, 适合AMRAY, Leica
|
个
|
|
614-6
|
光镜接口，44.5 x 25.4 x 3.2mm，含透射测量的明孔
|
个
|
|
614-61A
|
将MRS-3调整至3mm 直径 x 0.5mm厚以适合TEM样品座，仅适用二次电子和背散射电子模式，不适用透射模式。
|
个
|
|
614-62
|
装载MRS-3/4, 钉形样品座，3.2mm×25.4mm
|
个
|
|
614-71A
|
MRS-3 X-Y/R 清洗、重新镀膜、重新校准
|
次
|
|
614-72A
|
MRS-3 X-Y-Z/R清洗、重新镀膜、重新校准
|
次
|
|
614-73
|
MRS-3/4/5清洗、重新镀膜
|
次
|
SEM放大倍数校准标样MRS-4
SEM Magnification Standard and Stage Micrometer MRS-4
SEM10x－ 200,000x校准，节距包括1/2、1、 2、50 和500µm。
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产品代码
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描述
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单位
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614-821
|
MRS-4校准标样, X, 不可溯源, 不含样品保护座
|
个
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614-822
|
MRS-4校准标样, X-Y 可溯源, 不含样品保护座
|
个
|
|
614-823
|
MRS-4校准标样, X-Y-Z，可溯源, 不含样品保护座
|
个
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|
614-5
|
SEM保护样品座，25.4 x 3.18mm，含透射测量的明孔
|
个
|
|
614-7
|
MRS-3/4 接口, 适合AMRAY, Leica
|
个
|
|
614-6
|
光镜接口，44.5 x 25.4 x 3.2mm，含透射测量的明孔
|
个
|
|
614-61B
|
将MRS-4调整至3mm 直径 x 0.5mm厚以适合TEM样品座，仅适用二次电子和背散射电子模式，不适用透射模式。
|
个
|
|
614-62
|
装载MRS-3/4, 钉形样品座，3.2mm×25.4mm
|
个
|
|
614-63
|
装载MRS-3/4，Hitachi Ø25x6mmxM4 柱形样品座
|
个
|
|
614-71B
|
MRS-4 X-Y/R清洗、重新镀膜、重新校准
|
次
|
|
614-72B
|
MRS-4 X-Y-Z/R清洗、重新镀膜、重新校准
|
次
|
|
614-73
|
MRS-3/4/5清洗、重新镀膜
|
次
|
MRS-5放大倍数校准标样
MRS-5 Magnification Reference Standard
1,500x - 1,000,000x，节距规格见下表：
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图案
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节距
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Nested boxes
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2µm
|
1µm
|
500nm
|
200nm 4 each
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100nm 4 each
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80nm 4 each
|
|
3 bar targets
|
3µm
|
2µm
|
1µm
|
1.5µm
|
1µm
|
900nm
|
|
3 bar targets
|
800nm
|
700nm
|
600nm
|
500nm
|
400nm
|
300nm
|
|
3 bar targets
|
200nm
|
100nm
|
80nm
|
|
|
|
|
产品代码
|
描述
|
单位
|
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614-50
|
MRS-5NT校准标样, X，不可溯源, 不含样品保护座
|
个
|
|
614-51
|
MRS-5XY校准标样, X-Y，可溯源, 不含样品保护座
|
个
|
|
614-61C
|
将MRS-5调整至3mm 直径 x 0.5mm厚以适合TEM样品座，仅适用二次电子和背散射电子模式，不适用透射模式。
|
个
|
|
614-64
|
装载MRS-3/4, 钉形样品座，3.2mm×12.7mm
|
个
|
|
614-73
|
MRS-3/4/5清洗、重新镀膜
|
次
|
SEM像散矫正及分辨率标样
SEM Astigmatism Correction and Resolution Determination
PELCO®像散矫正标样
PELCO® Astigmatism Corrector
标样图像清晰、对比度高，用于像散和分辨率检查。
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产品代码
|
描述
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单位
|
|
640
|
PELCO®像散矫正标样，不含样品座
|
个
|
|
640-A
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座A
|
个
|
|
640-B
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座B
|
个
|
|
640-C
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座C
|
个
|
|
640-D
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座D
|
个
|
|
640-E
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座E
|
个
|
|
640-F
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座F
|
个
|
|
640-G
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座G
|
个
|
|
640-K
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座K
|
个
|
|
640-L
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座L
|
个
|
|
640-M
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座M
|
个
|
|
640-O
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座O
|
个
|
|
640-P
|
PELCO®像散矫正标样，含样品座P
|
个
|
|
|
低倍校准标尺
Low-Mag Calibration Ruler
校准标尺置于镀Ni的铜片上，长1mm，标有100条线，每刻度0.01 mm，准确度优于+/- 0.0005mm。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
|
630
|
低倍校准标尺，不含样品座
|
个
|
|
| |
|
630-A
|
低倍校准标尺，含样品座A
|
个
|
|
630-B
|
低倍校准标尺，含样品座B
|
个
|
|
630-C
|
低倍校准标尺，含样品座C
|
个
|
|
630-D
|
低倍校准标尺，含样品座D
|
个
|
|
630-E
|
低倍校准标尺，含样品座E
|
个
|
|
630-F
|
低倍校准标尺，含样品座F
|
个
|
|
630-G
|
低倍校准标尺，含样品座G
|
个
|
|
630-K
|
低倍校准标尺，含样品座K
|
个
|
|
630-L
|
低倍校准标尺，含样品座L
|
个
|
|
630-M
|
低倍校准标尺，含样品座M
|
个
|
|
630-O
|
低倍校准标尺，含样品座O
|
个
|
|
|
|
|
网状栅格标样
Grating Replica, Waffle
网状栅格标样校正的放大倍数范围是80-100,000x。两个方向的线间距均为2160 lines/mm，样品在3mm的铜网上。
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|
产品编号
|
描述
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单位
|
|
604
|
网状栅格标样，不含样品座
|
个
|
|
604-A
|
网状栅格标样，含样品座A
|
个
|
|
604-B
|
网状栅格标样，含样品座B
|
个
|
|
604-C
|
网状栅格标样，含样品座C
|
个
|
|
604-D
|
网状栅格标样，含样品座D
|
个
|
|
604-E
|
网状栅格标样，含样品座E
|
个
|
|
604-F
|
网状栅格标样，含样品座F
|
个
|
|
604-G
|
网状栅格标样，含样品座G
|
个
|
|
604-K
|
网状栅格标样，含样品座K
|
个
|
|
604-L
|
网状栅格标样，含样品座L
|
个
|
|
604-M
|
网状栅格标样，含样品座M
|
个
|
|
604-O
|
网状栅格标样，含样品座O
|
个
|
|
604-P
|
网状栅格标样，含样品座P
|
个
|
|
|
精细铜网标样
Fine Copper Mesh on Folding Grids (unmounted)
适用于SEM和低倍透射电镜放大倍数校正，也可用于低倍光学显微镜，包含1000目（节距25µm）和2000目（节距12.5µm）两种规格。
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|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
631-A
|
Agar 1000目铜网标样
|
个
|
|
631-C
|
Agar 2000目铜网标样
|
个
|
|
|
单晶硅标样
Silicon Test Specimen
用于扫描电镜与光镜放大倍数和图像变形检查。5mm x 5mm，方格间距10µm，线宽1.9µm，通过电子束印刷技术形成。每隔500µm有一稍宽的标记线，用于光学显微镜检测。方格由蚀刻形成，深200nm。可根据扫描电镜型号选择不同样品座。
随标样提供校准证书，但需支付额外费用。保证的准确度为1％。标样由英国NPL实验室（National Physical Laboratory）用激光干涉测量法测定。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
|
615
|
单晶硅标样，不含样品座
|
个
|
|
| |
|
615-A
|
单晶硅标样，含样品座A
|
个
|
|
|
615-B
|
单晶硅标样，含样品座B
|
个
|
|
|
615-C
|
单晶硅标样，含样品座C
|
个
|
|
|
615-D
|
单晶硅标样，含样品座D
|
个
|
|
|
615-E
|
单晶硅标样，含样品座E
|
个
|
|
|
615-F
|
单晶硅标样，含样品座F
|
个
|
|
|
615-G
|
单晶硅标样，含样品座G
|
个
|
|
|
615-K
|
单晶硅标样，含样品座K
|
个
|
|
|
615-L
|
单晶硅标样，含样品座L
|
个
|
|
|
615-M
|
单晶硅标样，含样品座M
|
个
|
|
|
615-O
|
单晶硅标样，含样品座O
|
个
|
|
|
615-P
|
单晶硅标样，含样品座P
|
个
|
|
|
615-5
|
单晶硅标样，置涂黑的玻璃片上，用于入光显微镜
|
个
|
|
认证的单晶硅标样
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
660-615-A
|
单晶硅标样，已认证，含样品座A
|
个
|
|
660-615-B
|
单晶硅标样，已认证，含样品座B
|
个
|
|
660-615-C
|
单晶硅标样，已认证，含样品座C
|
个
|
|
660-615-D
|
单晶硅标样，已认证，含样品座D
|
个
|
|
660-615-E
|
单晶硅标样，已认证，含样品座E
|
个
|
|
660-615-F
|
单晶硅标样，已认证，含样品座F
|
个
|
|
660-615-G
|
单晶硅标样，已认证，含样品座G
|
个
|
|
660-615-K
|
单晶硅标样，已认证，含样品座K
|
个
|
|
660-615-L
|
单晶硅标样，已认证，含样品座L
|
个
|
|
660-615-M
|
单晶硅标样，已认证，含样品座M
|
个
|
|
660-615-O
|
单晶硅标样，已认证，含样品座O
|
个
|
|
660-615-P
|
单晶硅标样，已认证，含样品座P
|
个
|
|
660-615-5
|
单晶硅标样，置涂黑的玻璃片上，用于入光显微镜，已认证
|
个
|
|
SEM分辨率、高分辨率、超高分辨率、低加速电压分辨率标样
SEM Resolution, High Resolution,Ultra High Resolution and Low Voltage Resolution
碳基金测试标样
Gold on Carbon Test Specimens
扫描电镜分辨率的测定采用综合的标准，即可分辨间距和图像灰度大小，以确保不会因使用对比度使边缘可见性最大而导致分辨率被曲解。高分辨图像理应显示精细的细节，并在良好的灰度范围内表现为低的噪音。
碳基金测试标样通常是将金原子镀于约2mm厚的碳基质上，在中高度分辨率测试中，不同大小的金粒子会产生不同的间隙。金原子的高原子序数和高次级电子发射性能使其成为SEM和FESEM分辨率校准的理想标样。
碳基金测试标样1
Gold on Carbon 1
粒径范围5nm至150nm
每个标样有一方格图案，在每一方格中央金粒较大，边缘金粒更为精细。因此中、高分辨率测试可同时在同一个样品上进行。大的金粒可用于高分辨时灰度重现性的评价。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
617
|
碳基金测试标样1，不含样品座
|
个
|
|
617-A
|
碳基金测试标样1，含样品座A
|
个
|
|
617-B
|
碳基金测试标样1，含样品座B
|
个
|
|
617-C
|
碳基金测试标样1，含样品座C
|
个
|
|
617-D
|
碳基金测试标样1，含样品座D
|
个
|
|
617-E
|
碳基金测试标样1，含样品座E
|
个
|
|
617-F
|
碳基金测试标样1，含样品座F
|
个
|
|
617-G
|
碳基金测试标样1，含样品座G
|
个
|
|
617-K
|
碳基金测试标样1，含样品座K
|
个
|
|
617-L
|
碳基金测试标样1，含样品座L
|
个
|
|
617-M
|
碳基金测试标样1，含样品座M
|
个
|
|
617-O
|
碳基金测试标样1，含样品座O
|
个
|
|
617-P
|
碳基金测试标样1，含样品座P
|
个
|
|
高分辨碳基金测试标样2
High Resolution Test Specimen, Gold on Carbon 2
粒径范围：<3nm至50nm
尤其适用于评价高分辨SEM（如FESEM）图像质量，放大倍数至少在80000X才能清楚分辨这些金颗粒。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
617-2
|
高分辨碳基金测试标样2，不含样品座
|
个
|
|
617-2A
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座A
|
个
|
|
617-2B
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座B
|
个
|
|
617-2C
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座C
|
个
|
|
617-2D
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座D
|
个
|
|
617-2E
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座E
|
个
|
|
617-2F
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座F
|
个
|
|
617-2G
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座G
|
个
|
|
617-2K
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座K
|
个
|
|
617-2L
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座L
|
个
|
|
617-2M
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座M
|
个
|
|
617-2O
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座O
|
个
|
|
617-2P
|
高分辨碳基金测试标样2，含样品座P
|
个
|
|
超高分辨碳基金测试标样3
Ultra High Resolution Test Specimen, Gold on Carbon 3
粒径范围：<2nm至30nm
用于超高分辨率测试，该标样金颗粒粒径更小，适用于FESEM，放大倍率在100,000X以上。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
617-3
|
超高分辨碳基金测试标样3，不含样品座
|
个
|
|
617-3A
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座A
|
个
|
|
617-3B
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座B
|
个
|
|
617-3C
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座C
|
个
|
|
617-3D
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座D
|
个
|
|
617-3E
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座E
|
个
|
|
617-3F
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座F
|
个
|
|
617-3G
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座G
|
个
|
|
617-3K
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座K
|
个
|
|
617-3L
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座L
|
个
|
|
617-3M
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座M
|
个
|
|
617-3O
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座O
|
个
|
|
617-3P
|
超高分辨碳基金测试标样3，含样品座P
|
个
|
|
低加速电压碳基金测试标样4
Low Voltage Resolution Test Specimen, Gold on Carbon 4
粒径范围：30nm至500nm
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
617-4
|
低加速电压碳基金测试标样4，不含样品座
|
个
|
|
617-4A
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座A
|
个
|
|
617-4B
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座B
|
个
|
|
617-4C
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座C
|
个
|
|
617-4D
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座D
|
个
|
|
617-4E
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座E
|
个
|
|
617-4F
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座F
|
个
|
|
617-4G
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座G
|
个
|
|
617-4K
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座K
|
个
|
|
617-4L
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座L
|
个
|
|
617-4M
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座M
|
个
|
|
617-4O
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座O
|
个
|
|
617-4P
|
低加速电压碳基金测试标样4，含样品座P
|
个
|
|
PELCO®纳米金分辨率测试标样
PELCO® Nanogold Resolution Test Standards for SEM and FESEM
该标样的纳米金颗粒沉积在硅片上，粒径已知且均匀，特别适合高分辨SEM、FESEM的测试，金颗粒粒径大小有两种：
- 30nm± 4nm，应用于高分辨SEM
- 15nm，应用于超高分辨FESEM
30nm PELCO®纳米金分辨率测试标样
PELCO® Nanogold Resolution Test Standard with 30nm gold particles.
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
680
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，不含样品座
|
个
|
|
680-A
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座A
|
个
|
|
680-B
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座B
|
个
|
|
680-C
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座C
|
个
|
|
680-D
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座D
|
个
|
|
680-E
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座E
|
个
|
|
680-F
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座F
|
个
|
|
680-G
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座G
|
个
|
|
680-K
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座K
|
个
|
|
680-L
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座L
|
个
|
|
680-M
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座M
|
个
|
|
680-O
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座O
|
个
|
|
680-P
|
PELCO®纳米金高分辨率测试标样，含样品座P
|
个
|
15nm PELCO®纳米金分辨率测试标样
PELCO® Nanogold Resolution Test Standard with 15nm gold particles
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
681
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，不含样品座
|
个
|
|
681-A
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座A
|
个
|
|
681-B
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座B
|
个
|
|
681-C
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座C
|
个
|
|
681-D
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座D
|
个
|
|
681-E
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座E
|
个
|
|
681-F
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座F
|
个
|
|
681-G
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座G
|
个
|
|
681-K
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座K
|
个
|
|
681-L
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座L
|
个
|
|
681-M
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座M
|
个
|
|
681-O
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座O
|
个
|
|
681-P
|
PELCO®纳米金超高分辨率测试标样，含样品座P
|
个
|
SEM中等分辨率测试标样
SEM Medium Resolution Test Specimens
|
铝－钨枝状晶体标样
Aluminum-Tungsten Dendrites
枝状结构的各种空隙可用于间距的测试，而其表面形貌则可应用在灰度水平测试。标样不具磁性、在真空及电子束作用下稳定，勿需表面镀膜。最适宜在探针大小为25－75nm时使用。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
620
|
铝－钨枝状晶体标样
|
个
|
|
|
碳圆盘上的锡球标样
Tin on Carbon Disc
为碳圆盘上分散的锡球。大部分锡球尺寸范围为10－40nm。是像散矫正及分辨率测试的理想标样。在半导体工业中碳基金标样不适用的情形下，推荐使用该标样。.
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
622
|
碳圆盘上的锡球标样，不含样品座
|
个
|
|
622-A
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座A
|
个
|
|
622-B
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座B
|
个
|
|
622-C
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座C
|
个
|
|
622-D
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座D
|
个
|
|
622-E
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座E
|
个
|
|
622-F
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座F
|
个
|
|
622-G
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座G
|
个
|
|
622-K
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座K
|
个
|
|
622-L
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座L
|
个
|
|
622-M
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座M
|
个
|
|
622-O
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座O
|
个
|
|
622-P
|
碳圆盘上的锡球标样，含样品座P
|
个
|
|
|
碳载网上的锡球标样
Tin on Carbon on Grid
为有柄狭缝碳网上的锡球标样（狭缝大小为0.4 x 2mm），锡球尺寸大小为3 - 60nm。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
636
|
碳载网上的锡球标样，不含样品座
|
个
|
|
636-A
|
碳载网上的锡球标样，含样品座A
|
个
|
|
636-B
|
碳载网上的锡球标样，含样品座B
|
个
|
|
636-C
|
碳载网上的锡球标样，含样品座C
|
个
|
|
636-D
|
碳载网上的锡球标样，含样品座D
|
个
|
|
636-E
|
碳载网上的锡球标样，含样品座E
|
个
|
|
636-F
|
碳载网上的锡球标样，含样品座F
|
个
|
|
636-G
|
碳载网上的锡球标样，含样品座G
|
个
|
|
636-K
|
碳载网上的锡球标样，含样品座K
|
个
|
|
636-L
|
碳载网上的锡球标样，含样品座L
|
个
|
|
636-M
|
碳载网上的锡球标样，含样品座M
|
个
|
|
636-O
|
碳载网上的锡球标样，含样品座O
|
个
|
|
636-P
|
碳载网上的锡球标样，含样品座P
|
个
|
|
TEM/STEM Test Specimens
Combined TEM Test Specimen
在多孔碳膜上镀上金膜并沉积石墨化碳颗粒。通过孔观察颗粒可以反映电镜的性能。蒸发的金颗粒为多晶的岛形结构，在诸岛之间可分辨出晶格条纹。该标样亦可通过观察金膜中孔内碳的沉积速率监测电镜中的污染状况。
|
|
|
透射电镜铝衍射标样
相机长度
Diffraction Standard
Camera Length
利用透射电镜在选区模式时显示的有效相机长度计算晶体的晶面间距是不够准确的。真实的相机长度需要在相同的加速电压和物镜条件下，通过已标定晶面间距的标准样品来校正。这种标样为蒸镀的铝膜，利用微晶产生的衍射环可标定透射电镜的相机长度。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
619
|
铝衍射标样，3mm载网
|
个
|
|
Molybdenum Trioxide三氧化钼
|
|
当从样品的选区图像转至衍射花样，中间镜的强度发生改变，从而在图像与衍射花样间产生图像的旋转。通过拍摄具有方向清晰的晶体可观察图像旋转，三氧化钼晶体正可满足该目的。
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
625
|
三氧化钼，3mm载网
|
个
|
|
|
Magnification Calibration
提供乳胶球衍射格栅标样、平行格栅标样、网状格栅标样。一般而言，平行格栅标样用于~40-50,000x的放大倍数，网状格栅标样用于~80-100,000x的放大倍数。平行格栅标样线间距为2160 lines/mm(54864 lines/inch)。网状格栅标样两个方向的线间距均为2160 lines/mm。
|
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
606
|
平行格栅标样，3mm载网
|
个
|
|
607
|
网状格栅标样，3mm载网
|
个
|
|
乳胶球衍射格栅标样
Diffraction Grating Replica with Latex Spheres
|
|
是一种“二合一”标样，既可以利用格栅间距进行放大倍数校正又可通过测量格栅上乳胶颗粒的大小来进行校正，特别适用于透射电镜更高放大倍数的校正。乳胶状颗粒的直径为0.216µm。线间距为2160lines/mm。
|
产品编号
|
描述
|
单位
|
|
603
|
乳胶球衍射格栅标样
|
个
|
|
乳胶球直径0.204µm，表面镀有较厚的金，适合用作STEM的测试样品
|
|
|
TEM、STEM放大倍数及分辨率测试标样
TEM, STEM Magnification and Resolution Test Specimens
|
球直径及偏差表
|
|
产品编号
|
平均直径
Nom
Diameter
|
认证的平均直径
Certified
Mean Diameter
|
尺寸偏差
Size Distribution
Std Dev. & C.V.
|
固含量Solids
Content
|
|
610-50
|
20nm
|
21nm ±1.5nm
|
not determined
|
1%
|
|
610-53
|
50nm
|
46nm ±2.0nm
|
7.2nm (15.7%)
|
1%
|
|
610-56
|
80nm
|
81nm ±2.7nm
|
5.8nm (7.2%)
|
1%
|
|
610-58
|
100nm
|
97nm ±3nm
|
4.5nm (4.6%)
|
1%
|
|
610-60
|
150nm
|
151nm ±4nm
|
3.2nm (2.1%)
|
1%
|
|
610-61
|
200nm
|
200nm ±6nm
|
3.4nm (1.7%)
|
1%
|
|
610-63
|
240nm
|
240nm ±6nm
|
3.7nm (1.5%)
|
1%
|
|
610-66
|
350nm
|
350nm ±7nm
|
4.7nm (1.3%)
|
1%
|
|
610-69
|
500nm
|
491nm ±4nm
|
6.3nm (1.3%)
|
1%
|
|
610-73
|
600nm
|
596nm ±6nm
|
7.7nm (1.3%)
|
1%
|
|
610-76
|
900nm
|
903nm ±9nm
|
9.3nm (1.0%)
|
1%
|
|
Catalase Crystals
过氧化氢酶晶体，负染处理，8.75nm和6.85nm 的晶面间距，在TEM和STEM下非常清晰，适合高倍校准。
|
Ferritin
铁蛋白分子四分染色体能够被分辨，表明仪器分辨率优于1.25nm。铁蛋白分散在3mm铜网的formvar/C支持膜上。
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多孔碳膜上的金标样
Gold on "Holey" Carbon Film
蒸镀金岛之间的间隙可理想用于检查TEM/STEM的分辨率，碳膜上的孔也亦可用作像散校正。
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铂/铱标样
Evaporated Platinum / Iridium
在多孔碳膜上蒸镀Pt/Ir。碳膜上的孔方便用于聚焦及像散校正，蒸镀的金属颗粒用于TEM分辨率检查。
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TEM、STEM像散校正及X射线分析标样
"Holey" (Perforated) Carbon Film
的通用TEM像散校正标样，孔边缘的图像亦可指示TEM的稳定性和分辨能力。
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TEM能谱标样
TEM CHECKER
用于监控X射线探头的性能。
含5个直径3mm的锰圆盘，可像载网一样放于TEM样品座内。圆盘对电子束不透明，但可通过镁峰检查能谱仪的分辨率。
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产品编号
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描述
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单位
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602-15
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TEM能谱标样
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5个/包
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TEM晶面间距标样
Lattice Plane Resolution Checks for Transmission Electron Microscopy
晶体晶面间距可测试电镜稳定性，亦可为放大倍数的校正提供内标。
晶面间距0.9nm、0.45nm
青石棉晶体标样
Asbestos(crocidolite)crystals standard specimen
青石棉晶体标样可很好的校正分辨率和放大倍率，晶面间距为0.9nm（020）和0.45nm（021）。其中石棉纤维轴向晶面间距为0.9nm，0.45nm的晶面间距出现在合适的晶体方向上约60°的角度上。为防止电镜被石棉纤维污染，采用一种三明治式的技术，将石棉置于碳层和方华膜之间。
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晶面间距0.34nm
石墨化碳黑标样
Graphitized carbon black
石墨化碳黑标样，稳定性好、重现性佳，被认为是TEM分辨率测试的标准工具。
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晶面间距0.204nm、0.143nm、0.102nm
单晶金标样
Oriented gold crystal
高性能TEM的分辨率、图像质量、放大倍数以及仪器稳定性，可通过拍摄该特制的单晶金标样的0.204nm, 0.143nm和 0.104nm晶面间距进行检查。尤其推荐调整TEM样品台高度后使用。
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TEM校准标样系列A和系列B
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TEM校准标样系列A
TEM Calibration Kit, set A
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包括
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用途
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609多孔碳膜
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像散校正
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613多孔碳膜上的金标样
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分辨率测定
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608铁蛋白
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分辨率测定
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603乳胶球衍射格栅标样
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放大倍数校正
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250 超微尺寸计算器
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超微尺寸计算
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252 放大倍数校正计算器
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放大倍数校正计算
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产品编号
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描述
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单位
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670-A
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TEM校准标样系列A
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套
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产品编号
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描述
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单位
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670-B
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TEM校准标样系列B*
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套
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MAG*I*CAL®TEM校准标样
MAG*I*CAL®
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该标样晶格常数可溯源，适合TEM各种主要的校准，包括
包含来自于MBE生长单晶半导体圆片、对电子透明的TEM切片样品。在TEM下，会出现一系列的明暗层，而每层的厚度是已知的。明层（Si层）及暗层（SiGe合金层）厚度的测量基于细致的<1 1 1>Si晶面间距的测量，它在标样本身上是可见的，同时可依赖X射线衍射测定。所设计的晶面间距可用于校准1,000X至1,000,000X间 TEM的各种放大倍数。由于标样亦为单晶硅，因而容易清楚无误地得到校准所需的诸如相机长度以及图像/衍射旋转的电子衍射信息。<1 1 1>硅的晶格常数(0.3135428nm) 是直接可溯源的。
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产品编号
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描述
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单位
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675
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MAG*I*CAL校准标样
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个
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背散射及二次电子测试标样
Back Scattered and Secondary Electron Test Specimens
BSE参考标样
BSE Atomic Reference Specimen
提供三种不同的测试原子序数反差的标样。每一种标样含两种高纯的相互间原子序数相差1的元素。低原子序数物质嵌于高原子序数物质内。
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产品编号
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描述
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单位
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652
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BSE参考标样，Ni (Z-28) – Cu (Z-29)
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个
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653
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BSE参考标样，钯(Z-46) – Ag(Z-47)
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个
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654
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BSE参考标样，Pt (Z-78) – Au(Z-79)
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个
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Duplex背散射电子参考标样
Duplex Reference Specimen
另一种背散射标样。两种分离的Cu/Zn相平均原子序数分别为29.37和29.47，仅相差0.1。
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产品编号
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描述
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单位
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655
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Duplex背散射电子参考标样
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个
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PELCO®法拉第杯
PELCO® Faraday Cup
PELCO®法拉第杯用于精准测量SEM、MicroProbe或FIB的束流。在仪器系统上选择单点模式，聚焦使电（离）子束进入法拉第杯的100µm光阑。光阑下方的空腔吸收了几乎了大部分的电（离）子，设计的吸收效率为98.5%以上。将法拉第杯置于样品台上，使用仪器配备的束流计（Keithley Pico-ammeter）即可测试或显示吸收束流。
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产品编号
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描述
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单位
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651
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PELCO®法拉第杯，不含样品座
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个
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651-A
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PELCO®法拉第杯，含样品座A
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个
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651-B
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PELCO®法拉第杯，含样品座B
|
个
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651-C
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PELCO®法拉第杯，含样品座C
|
个
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651-D
|
PELCO®法拉第杯，含样品座D
|
个
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651-E
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PELCO®法拉第杯，含样品座E
|
个
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651-F
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PELCO®法拉第杯，含样品座F
|
个
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651-G
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PELCO®法拉第杯，含样品座G
|
个
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651-K
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PELCO®法拉第杯，含样品座K
|
个
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651-L
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PELCO®法拉第杯，含样品座L
|
个
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651-M
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PELCO®法拉第杯，含样品座M
|
个
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651-O
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PELCO®法拉第杯，含样品座O
|
个
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651-P
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PELCO®法拉第杯，含样品座P
|
个
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FIB和离子束溅射标样
FIB and Ion Beam Sputter Standards
最精密的离子溅射标样，用于校准离子枪。提供SiO2、Si3N4、Ta2O5和NiCr-3薄膜。
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产品编号
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描述
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单位
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612-11
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离子溅射标样， SiO2 (23 ± 0.23 nm) 膜，于 4" Si圆晶上
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个
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612-12
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离子溅射标样，SiO2 (50 ± 2.5 nm) 膜，于 4" Si圆晶上
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个
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612-13
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离子溅射标样，SiO2 (97 ± 3.8 nm) 膜，于 4" Si圆晶上
|
个
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612-14
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离子溅射标样，SiO2 (102.9 ± 2.5 nm) 膜，于 4" Si圆晶上
|
个
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产品编号
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描述
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单位
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612-20
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离子溅射标样，Si3N4膜，于1x3cm Si片上
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个
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产品编号
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描述
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单位
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612-30
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离子溅射标样，Ta2O5 (~100nm) 膜，于37x37mm Ta 箔上
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个
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产品编号
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描述
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单位
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612-40
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离子溅射标样，Ni / Cr (12层) 膜，于1x3cm Si片上
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个
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透射光与反射光样品台微尺
Stage Micrometers for Transmitted and Reflected Light
透射光样品台刻度尺
准确的样品台刻度尺（证书可选），用于光镜的常规校准，尤其是物镜更换的场合。刻度位于黑色氧化铝载片上玻璃盘中心区，尺寸为：75 x 24 x 2mm厚。
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产品编号
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描述
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单位
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2280-10
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透射光刻度尺，10mm，最小刻度0.1mm
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个
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2280-11
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透射光刻度尺， 5mm，最小刻度0.05mm
|
个
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2280-12
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透射光刻度尺，0.1 inch，最小刻度0.001 inch
|
个
|
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2280-13
|
透射光刻度尺， 1mm，最小刻度0.01mm
|
个
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2280-14
|
透射光刻度尺，0.005 inch，最小刻度0.0001 inch
|
个
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2280-15
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透射光刻度尺， 0.1mm，最小刻度0.002mm
|
个
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2280-16
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透射光十字形刻度尺，1mm，最小刻度0.01mm
|
个
|
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2280-17
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透射光垂直刻度尺, 2mm，最小刻度0.01mm
|
个
|
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2280-18
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透射光刻度尺 1mm，最小刻度0.01mm，无盖玻片
|
个
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透射光刻度尺的线宽及准确度
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产品编号
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线宽
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准确度
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2280-10
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0.005 mm
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小于0.002 mm
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2280-11
|
0.005 mm
|
小于0.0015 mm
|
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2280-12
|
0.002 mm
|
小于0.0001 inch
|
|
2280-13
|
0.002 mm
|
小于0.001 mm
|
|
2280-14
|
0.001 mm
|
小于0.00005 inch
|
|
2280-15
|
0.001 mm
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小于0.001 mm
|
|
2280-16
|
, 0.0015 mm
|
小于0.001 mm
|
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2280-17
|
0.0025 mm
|
小于0.0015 mm
|
|
2280-18
|
0.0027 mm
|
小于0.001 mm
|
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2280-24
|
0.002 mm
|
小于0.001 mm
|
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2269-10
|
0.003 mm
|
小于0.001 mm
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透射光米/英寸组合刻度尺
Combined Metric/Inch Stage Micrometer
2mm，最小刻度0.01mm，0.1 inch，最小刻度0.005 inch。
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产品编号
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描述
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单位
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|
2280-24
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透射光米/英寸组合刻度尺
|
个
|
|
透射光分等级刻度尺
Grouped Graduation Pattern Stage Micrometer
包括0.2mm（最小刻度0.01mm）、2mm （最小刻度0.2mm）和5mm（最小刻度0.5mm）刻度。
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产品编号
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描述
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单位
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2280-25
|
透射光分等级刻度尺
|
个
|
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样品台反射光刻度尺
Stage Micrometers for Reflected Light
准确的刻度标尺被蚀刻入高反射真空镀膜的金属。在金相显微镜反射光照明下，黑色的刻度标尺呈现在明亮的背景中。
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产品编号
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描述
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单位
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2280-27
|
反射光刻度尺，10mm，最小刻度0.1mm
|
个
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|
2269-10
|
反射光刻度尺，1mm，最小刻度0.01mm
|
个
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Calibration Certificates
证书类型
GRATS证书 (Graticules Measurement) (#2280-60)
UKAS Cerificate (#2280-61)
NPL Calibration (#2280-62)
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产品编号
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描述
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单位
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2280-60
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GRATS证书（制造商提供）
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个
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2280-61
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UKAS证书（溯源至UKAS标准）
|
个
|
|
2280-62
|
NPL证书（溯源至NPL，National Physics Laboratory，一个类似于NIST的机构)
|
个
|
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图像分析标样
Image Analysis Standard (Reference Stage Graticule)
为校准图像分析系统、识别光学成像系统中的偏差及变形提供4个高精密测试区。标样可用作高精密度样品台刻度尺，附有单独的证书与使用建议。标样被置于75mm x 25mm的载片上，其中方格的准确度为±0.1µm，圆点准确度为±0.3µm（root-2阵列上最小和最大的圆点除外，其准确度为±0.5µm）。
4个测试区分别为：
- 400µm x 400µm被分成200、100、50、25µm的方格，可以用于检测总体图像变形，亦可用作准确的二维样品台标尺；
- 直径15µm的圆点阵列（20 x 17）可用于识别透镜变形，设定视场以消除边缘失真；
- root-2阵列上的点直径为3µm至48µm，用于测定相机及显微镜系统的阈值水平；
- 直径在4.5µm至 27µm之间呈对数正态分布的100个点阵列可以用于测定平均值与标准偏差，并与标称值作比较。
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产品编号
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描述
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单位
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2280-26
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图像分析标样
|
个
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计数载玻片
Counting Slides
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产品编号
|
描述
|
单位
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2280-30
|
计数载玻片，1mm2 / 0.1x0.1mm
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个
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2280-31
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计数载玻片，0.5mm2 / 0.05x0.05mm
|
个
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|
计数载网
Counting Grids
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产品编号
|
描述
|
单位
|
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2280-32
|
计数载网， 0.01mm方格 / 总大小0.2x0.2mm
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个
|
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2280-33
|
计数载网，0.01mm方格 /总大小1.5x1.5mm
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个
|
|
英格兰定位S7玻片
England Finder - S7 Slide
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为在表面标记有相对位置的玻片，以方便反复观察感兴趣区域的样品。
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产品编号
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描述
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单位
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2280-50
|
英格兰定位S7玻片
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个
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