应用： 高效率裂解氮气, 氧气 和氢气,适用于氮化物,氧化物的生成,氮的搀杂（GaInNAs, GaN, ZnO, ultra-thin Al2O3 films and high-k dielectric oxides）和氢原子清洗

*多种型号可选: HD20;HD25R/HD25; HD60;HD150

*最大功率为600W ;1200 W

*可实现零离子流组分的原子流

*高均匀性的原子态束流适用于最大样片直径12”

*激发光监测及回控系统实现束流稳定性可控;*手动孔阑挡板

*可实现全自动控制

牛津应用研究公司是一家创建于1978年，专门生产用于获得高质量薄膜、薄膜优化该性的设备与仪器的高科技英国公司，所生产的仪器及系统适用于研发和生产。该公司以科技研发创新和技术先导为身份济身于国际当先的科学仪器的制造商行列，作为国际首家验证了固态蓝光发光二极管的可行性和对HTC超导氧化物研究的杰出贡献的公司，荣获了英国工业最高荣誉和奖励-英国女王的精准技术成果奖！牛津应用研究公司对新兴技术及应用要求始终给予极快的响应并能提供相应产品-如成功研发了国际上第一台纳米团簌发生仪和纳米团簌沉积系统，实现薄膜的纳米尺寸剪裁。牛津应用研究公司主要仪器产品有：纳米团簇沉积源和系统，射频原子源和射频离子源，电子束蒸发器和热气裂解器等。产品主要应用于表面科学、精准材料、半导体材料和器件、表面科学及纳米科技，其中许多仪器作为重要系统组成部分应用于大型真空系统用于制备光电器件、高K值绝缘氧化物薄膜和分子束外延的成长。牛津应用研究公司具有全球性的销售网和高质量的技术服务平台，公司产品总额的90%应全球科研和技术发展的需求为出口产品，在全球范围内拥有大量的用户群体并已赢得了用户们的高度信任和评价。