MRS系列校准标样是被广泛认可的节距标样，在全球实验室（包括美国、英国和德国的国家实验室）使用的MRS标样逾1000个，工业用户包括Intel、AMD、IBM等。提供认证（可溯源）或未认证的校准标样，同时亦提供清洗、重新认证等服务，以满足ISO、QS-9000 、ISO-17025等国际质量标准的要求。
放大倍数校准标样MRS-3
Magnification Calibration, MRS-3
SEM10 x －50,000x 节距标样
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应用
- EM - SEM, SE和BSE模式、 SEM/FIB、TEM (特制)
- 扫描显微镜与表面轮廓仪- STM、AFM，图案高度为100nm
- 光镜 – 透射、反射、明/暗场、相差、共焦
- 化学成像- EDS、WDS、XRF、XPS、Auger等，图案为100nm CrO2 和 Cr在石英上形成。
- 粒径计算- 含用于校准的系列圆、方形和矩形图案
图案设计
MRS-3由高精密度直写电子束制造设备所制，石英上的图案为抗反射的Cr。二次电子像和背散射电子像反差好。图案表面镀有特殊导电材料，使该标样适用于任何加速电压下的SEM成像。
几何设计
MRS-3具有数组嵌套的方形图案，节距分别为2µm、50µm、500µm。
最大方形的尺寸为3mm，线间距为250µm，可用于10 - 100x。50µm节距的图案用于100 - 1000x的放大倍数，2µm节距的图案则用于高达50,000x的放大倍数。
尺寸大小
总体尺寸大约9mm x 9mm x 2.3mm（厚）
MRS-3可连同直径25 mm、厚3mm的铝载台一起被提供。
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614-5 和614-62样座
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光镜接口 OM/R 614-6
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这是最常使用的载体，适用于SEM和透射光应用场合。采用特制的MRS-3，可应用于TEM的校准。
精准度
英国NPL（National Physical Laboratories，UK ，NIST的竞争对手）测试表明500µm节距图案的精准度为±0.25µm，而50µm和2µm节距图案的精准度为±0.1µm。这些数据较保守，NIST的测试数据显示了较NPL更好的精准度。
证书
根据ISO指导方针进行认证。每一个MRS-3标样都刻有独立的序列号。证书包括：序列号、认证日期，操作者、使用仪器、实际图案测量值及准确度。同时标有再次认证的日期。
X-Y方向经NIST 和NPL标样认证，Z平面则只能溯源至NIST标准。
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产品代码
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描述
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单位
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614-1
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MRS-3 校准标样, X, 不可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-2
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MRS-3 校准标样, X-Y, 可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-3
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MRS-3 校准标样, X-Y-Z, 可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-5
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SEM样品保护座，25.4 x 3.18mm，含透射测量的明孔
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个
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614-7
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MRS-3/4 接口, 适合AMRAY, Leica
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个
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614-6
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光镜接口，44.5 x 25.4 x 3.2mm，含透射测量的明孔
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个
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614-61A
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将MRS-3调整至3mm 直径 x 0.5mm厚以适合TEM样品座，仅适用二次电子和背散射电子模式，不适用透射模式。
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个
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614-62
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装载MRS-3/4, 钉形样品座，3.2mm×25.4mm
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个
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614-71A
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MRS-3 X-Y/R 清洗、重新镀膜、重新校准
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次
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614-72A
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MRS-3 X-Y-Z/R清洗、重新镀膜、重新校准
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次
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614-73
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MRS-3/4/5清洗、重新镀膜
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次
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SEM放大倍数校准标样MRS-4
SEM Magnification Standard and Stage Micrometer MRS-4
SEM10x－ 200,000x校准，节距包括1/2、1、 2、50 和500µm。
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产品代码
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描述
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单位
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614-821
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MRS-4校准标样, X, 不可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-822
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MRS-4校准标样, X-Y 可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-823
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MRS-4校准标样, X-Y-Z，可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-5
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SEM保护样品座，25.4 x 3.18mm，含透射测量的明孔
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个
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614-7
|
MRS-3/4 接口, 适合AMRAY, Leica
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个
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614-6
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光镜接口，44.5 x 25.4 x 3.2mm，含透射测量的明孔
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个
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614-61B
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将MRS-4调整至3mm 直径 x 0.5mm厚以适合TEM样品座，仅适用二次电子和背散射电子模式，不适用透射模式。
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个
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614-62
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装载MRS-3/4, 钉形样品座，3.2mm×25.4mm
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个
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614-63
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装载MRS-3/4，Hitachi Ø25x6mmxM4 柱形样品座
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个
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614-71B
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MRS-4 X-Y/R清洗、重新镀膜、重新校准
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次
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614-72B
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MRS-4 X-Y-Z/R清洗、重新镀膜、重新校准
|
次
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614-73
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MRS-3/4/5清洗、重新镀膜
|
次
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MRS-5放大倍数校准标样
MRS-5 Magnification Reference Standard
1,500x - 1,000,000x，节距规格见下表：
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Micrograph of the 80nm PITCH
located bottom right corner
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图案
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节距
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Nested boxes
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2µm
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1µm
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500nm
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200nm 4 each
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100nm 4 each
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80nm 4 each
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3 bar targets
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3µm
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2µm
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1µm
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1.5µm
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1µm
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900nm
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3 bar targets
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800nm
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700nm
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600nm
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500nm
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400nm
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300nm
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3 bar targets
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200nm
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100nm
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80nm
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产品代码
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描述
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单位
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614-50
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MRS-5NT校准标样, X，不可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-51
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MRS-5XY校准标样, X-Y，可溯源, 不含样品保护座
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个
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614-61C
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将MRS-5调整至3mm 直径 x 0.5mm厚以适合TEM样品座，仅适用二次电子和背散射电子模式，不适用透射模式。
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个
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614-64
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装载MRS-3/4, 钉形样品座，3.2mm×12.7mm
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个
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614-73
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MRS-3/4/5清洗、重新镀膜
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次
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