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 Critical Dimension (CD)校准标样

Critical Dimension (CD)校准标样

Critical Dimension (CD) Calibration Test Specimens

适用SEMFIBAFM

 

 

尤其适用于SEM / FIB放大倍数校准,亦可用于校准AFM。使用高性能SEMFIB的显微学家和工程师将会发现这款标样非常有用。该标样于4.8 x 4.8mm硅片上含系列条纹,款式分三种:

 

 

 

产品

   

critical dimension specimen with a 10-5-2-1-0.5um structure

 

CD 10-5-2-1-0.5um

中心区含五组条纹,条纹间距被清楚地标记,分别为:10.0um5.0µm2.0µm1.0µm 0.5µm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成,深约200nmSi表面无镀层。根据认证与否,分两种:

-未认证

- PTBPhysikalische Technische Bundesanstalt - German counter part of NIST)认证,独立编号

 



产品代码

描述

单位

618-5

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未编号,不含样品座

618-7

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证可溯源,不含样品座

618-5A

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座A

618-5B

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座B

618-5C

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座C

618-5D

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座D

618-5E

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座E

618-5F

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座F

618-5G

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座G

618-5K

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座K

618-5L

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座L

618-5M

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座M

618-5O

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座O

618-5P

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,未认证,含样品座P

618-7A

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座A

618-7B

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座B

618-7C

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座C

618-7D

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座D

618-7E

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座E

618-7F

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座F

618-7G

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座G

618-7K

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座K

618-7L

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座L

618-7M

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座M

618-7O

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座P

618-7P

CD 10-5-2-1-0.5µm标样,认证,含样品座P

 

500-200-100nm structure critical dimension specimen

 

CD 500-200-100nm:

500-200-100nm structure critical dimension specimen

 

这种先进的CD标样适用更小尺度的校准。CD 500-200-100nm标样含三组条纹,条纹间距被清楚地标记,分别为500nm200nm100nm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成,深约45-50nm Si表面无镀层。

 

产品代码

描述

单位

618-4

CD 500-200-100nm标样,未认证,不含样品座

618-4A

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座A

618-4B

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座B

618-4C

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座C

618-4D

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座D

618-4E

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座E

618-4F

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座F

618-4G

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座G

618-4K

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座K

618-4L

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座L

618-4M

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座M

618-4O

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座O

618-4P

CD 500-200-100nm标样,未认证,含样品座P

 

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