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 WGL光电轮廓仪

WGL光电轮廓仪
 
型号:WGL型
适用范围
 
光电轮廓仪的应用范围很广,它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构,如表面粗糙度;零件表面的刻线;刻槽的深度和镀层的厚度等。具体地说,如量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构;镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。由于仪器测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量等特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位,工矿企业计量室,精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。
产品介绍
 

仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯;
应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量;
用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本;
用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题;
增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能;

 

 

 表面微观不平深度测量范围                        130?1nm
  测量的重复性:                               sRa≤0.5nm
  测量精度                                            8nm
  物镜倍率                                            40X
  数值孔径                                            0.65
  仪器视场  目视                                  f0.25mm
            摄象                              0.13X0.13mm
  仪器放大倍数  目视                                500X
                摄象(计算机屏幕观察)              2500X
  接收器测量列阵                                1000X1000
  象素尺寸                                      5.2X5.2?m

 

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